介紹：

   XDV-µ型系列儀器是專(zhuān)為在極微小結構上進(jìn)行高精度鍍層厚度測量和材料分析而設計的。該系列儀器均配備用于聚焦X射線(xiàn)束的多毛細管透鏡，光斑直徑（FWHM）可達10至60µm。短時(shí)間內就可形成高強度聚焦射線(xiàn)。除了通用型XDV-µ型儀器，還有專(zhuān)門(mén)為電子和半導體行業(yè)而設計的儀器。如XDV-µ LD是專(zhuān)為測量線(xiàn)路板而優(yōu)化的，而XDV-µ wafer是為在潔凈間使用而設計的。

旗辰涂鍍層測厚儀XDV-µ特點(diǎn)：

• Advanced polycapillary X-ray optics that focus the X-rays onto extremely small measurement surfaces
• 先進(jìn)的多毛細管透鏡，可將X射線(xiàn)聚集到極微小的測量面上
• 現代化的硅漂移探測器（SDD），確保*的檢測靈敏度
• 可用于自動(dòng)化測量的超大可編程樣品平臺
• 為特殊應用而專(zhuān)門(mén)設計的儀器，包括：
  • XDV-μ LD，擁有較長(cháng)的測量距離（至少12mm）
  • XDV-μLEAD FRAME，特別為測量引線(xiàn)框架鍍層如Au/Pd/Ni/CuFe等應用而優(yōu)化
  • XDV-μ wafer,配備全自動(dòng)晶圓承片臺系統

 旗辰涂鍍層測厚儀XDV-µ應用：

鍍層厚度測量：

• 測量未布元器件和已布元器件的印制線(xiàn)路板
• 在納米范圍內測量復雜鍍層系統，如引線(xiàn)框架上Au/Pd/Ni/CuFe的鍍層厚度
• 對大12英寸直徑的晶圓進(jìn)行全自動(dòng)的質(zhì)量監控
• 在納米范圍內測量金屬化層（凸塊下金屬化層，UBM）
• 遵循標準 DIN EN ISO 3497 和 ASTM B568

材料分析：

• 分析諸如Na等極輕元素
• 分析銅柱上的無(wú)鉛化焊帽
• 分析半導體行業(yè)中C4或更小的焊料凸塊以及微小的接觸面